壹. 氮气/氧气/氩气 (N2/O2/Ar) 气体分析仪功能规格  

• 具有线上取样及自动purge功能，气体样品为4~32 streams。
  
• 可分析的气体种类：氩气(Ar)、氧气(O2)、氮气(N2) 三种。
• 待测物成分及最低可侦测浓度(MDL)：H2、 (Ar)、 (O2)、(N2)、CH4、CO、CO2等 ；MDL为10~30ppb。
• 待测物标准成份(5ppm)五重复分析的相对标准偏差(RSD)：<3%。
  
  

  贰. 氮气/氧气/氩气 (N2/O2/Ar) 气体分析仪硬体规格  

    A. 层析系统

• 电子流量控制(EPC)：精确度达0.001psi，为载送气体、侦测器流量、辅助气体、逆吹气体及核心  切除气压平衡气(heart cut)等的标准规格，可控制16个通道的流量或压力。
• 分析成分滞留时间误差：＜0.0008分钟。
• 烘箱温度操作范围及精度：室温＋4℃~450℃，0.01℃控制精度。
• 可配置3个侦测器。

    B. 侦测器

     1. 脉冲式放电侦测器(PDHID)：

• 泛用型非破坏性氦气光离子化侦测模式。
• 氦气光子能量：13.5~17.7eV。
• 最小检测量：low ppb，可分析非腐蚀性或腐蚀性气体。
• 线性范围：大于10⁵。

     2. 火焰离子化侦测器(FID)：

• 电子流量控制(EPC)：可控制氢气、空气、补充气体等的流量。
• 最小检测量：小于或等于1.8pg (10^-12g) 碳/秒，线性动态范围：≧10⁷。
• 总碳氢化合物(THC)：最小检测量＜0.01ppm。

    C. 控制系统

• 工业级电脑。
• 讯号输出：4~20mA 或 0~1V。
• 可提供DCS各种通讯协定(protocols)。