壹. 矽甲烷 (SiH4) 气体分析仪功能规格  

•  待测物成分及最低可侦测浓度(MDL)：H2、 Ar+O2、N2、CH4、CO、CO2等 ；MDL为10~30 ppb。
•  待测物标准成份(5ppm)五重复分析的相对标准偏差(RSD)：＜3%。

  贰. 矽甲烷 (SiH4) 气体分析仪硬体规格  

    A. 层析系统

•  电子流量控制(EPC)：精确度达0.001psi，为载送气体、侦测器流量、辅助气体、逆吹气体及核心切除气压平衡气(heart cut)等的标准规格，可控制16个通道的流量或压力。
•  分析成分滞留时间误差：＜0.0008分钟。
•  烘箱温度操作范围及精度：室温＋4℃~450℃，0.01℃控制精度。
•  可配置3个侦测器。

   B. 侦测器及控制系统

      1. 脉冲式放电侦测器(PDHID)：

•  泛用型非破坏性氦气光离子化侦测模式。
•  氦气光子能量：13.5~17.7eV。
•  最小检测量：low ppb，可分析非腐蚀性或腐蚀性气体
•  线性范围：大于10⁵。