壹. 二氧化碳 (CO2) 气体分析仪功能规格  

• 待测物成分及最低可侦测浓度(MDL)：H2、N2、CH4、CO ；MDL为10~30 ppb。
• 待测物标准成份(5ppm)五重复分析的相对标准偏差(RSD)： Peak Height<2%、Peak Area<2%、Amount<2%。
• 总碳氢化合物(THC)：最小检测量＜100ppb。

  贰. 二氧化碳 (CO2) 气体分析仪硬体规格  

  A. 气体分析仪架构可现场(on-site)修改升级，增加待测物成份

  B. 层析系统

• 电子流量控制(EPC)：精确度达0.001psi，为载送气体、侦测器流量、辅助气体、逆吹气体及核心切除气压平衡气(heart cut)等的标准规格，可控制16个通道的流量或压力。
• 分析成分滞留时间误差：＜0.008分钟。
• 烘箱温度操作范围及精度：室温＋4℃~450℃，0.01℃控制精度。
• 可配置3个侦测器。

  C. 侦测器及控制系统

     1. 脉冲式放电侦测器(PDHID)：

• 泛用型非破坏性氦气光离子化侦测模式。
• 氦气光子能量：13.5~17.7eV。
• 最小检测量：low ppb，可分析非腐蚀性或腐蚀性气体。
• 线性范围：大于10⁵。

     2. 总碳氢化合物(THC)侦测器：

• 电子流量控制(EPC)：可控制氢气、空气、补充气体等的流量。
• 最小检测量：小于或等于1.8pg (10^-12g) 碳/秒，线性动态范围：≧10⁷。
• 总碳氢化合物(THC)：最小检测量＜0.01ppm。