壹. 电子级特殊 (Multi Mix) 气体分析仪功能规格  

• 可分析的单一气体种类：三氟化氮(NF3)、六氟化硫(SF6)、一氧化二氮 (N2O)、 氯 气(Cl2)、氨气 (NH3)、矽甲烷(SiH4)、六氟乙烷(C2F6)、八氟丙烷(C3F8)、 各种混合气等。
• 待待测物成分及最低可侦测浓度(QDL)：H2、Ar、N2、CH4、CO、CO2、N2O等 ；QDL为＜10ppb。
• 总碳氢化合物(THC)最低可侦测浓度(QDL)：＜10ppb。
• 待测物标准成份(5ppm)五重复分析的相对标准偏差(RSD)：1~2%。

  贰. 电子级特殊 (Multi Mix) 气体分析仪硬体规格  

   A. 层析系统

• 电子流量控制(EPC)：精确度达0.001psi，为载送气体、侦测器流量、辅助气体、逆吹气体及核心切除气压平衡气(heart cut)等的标准规格，可控制16个通道的流量或压力。
• 分析成分滞留时间误差：＜0.0008分钟。
• 烘箱温度操作范围及精度：室温＋4℃~450℃，0.01℃控制精度。
• 可配置3个侦测器。

   B. 侦测器及控制系统

     1. 脉冲式放电侦测器(PDHID)：

• 泛用型非破坏性氦气光离子化侦测模式。
• 氦气光子能量：13.5~17.7eV。
• 最小检测量：low ppb，可分析非腐蚀性或腐蚀性气体。
• 线性范围：大于10⁵。

     2. 火焰离子化侦测器(FID)：

• 电子流量控制(EPC)：可控制氢气、空气、补充气体等的流量。
• 最小检测量：小于或等于1.8pg (10^-12g) 碳/秒，线性动态范围: ≧10⁷。

     3. 热导电度侦测器(TCD)：

• 电子流量控制(EPC)：可控制参考气体、补充气体等的流量。
• 最小检测量：优于 400x10^-12g 碳氢化合物/毫升，线性动态范围10⁵。
• 可程式设定讯号变化输出时间。