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高纯度氩气Ar气体分析仪
高纯度氩气Ar气体分析仪
产品特性 :
热门应用领域:
空气分离厂、钢铁厂、光电、半导体、太阳能、LED、电子级气体、Ar
高纯度氩气分析仪
壹. 氩气 (Ar) 气体分析仪功能规格
待测物成分及最低可侦测浓度(MDL):H2、 N2、CH4、CO、CO2等 ;MDL<10ppb。
待测物标准成份(5ppm)五重复分析的相对标准偏差(RSD): Peak Area<2%、Amount<2%。
总碳氢化合物(THC):最小检测量<100ppb。
贰. 氩气 (Ar) 气体分析仪硬体规格
A. 气体分析仪架构可现场(on-site)修改升级,增加待测物成份
B. 层析系统
电子流量控制(EPC):精确度达0.001psi,为载送气体、侦测器流量、辅助气体、逆吹气体及核心 切除气压平衡气(heart cut)等的标准规格,可控制16个通道的流量或压力。
所有载送气体或辅助气体之流量须为电子流量控制(EPC),并可由化学工作站操作软体设定。
具大气压力感应装置可补偿室温及海平面高度的改变。
具有气体不足时,自动启动机台自我保护功能。
分析成分滞留时间在现性:0.0008min。
面积再现性:<1%RSD。
烘箱温度操作范围及精度:室温+4℃~450℃,0.01℃控制精度。程式升温在现性≦1%。
C. 侦测器及控制系统
1. 脉冲式放电侦测器:
泛用型非破坏性氦气光离子化侦测模式。
氦气光子能量:13.5~17.7eV。
最小检测量:low ppb,可分析非腐蚀性或腐蚀性气体。
线性范围:大于10
5
。
2. 总碳氢化合物(THC)侦测器:
电子流量控制(EPC):可控制氢气、空气、补充气体等的流量。
最小检测量(MDL):<1.8pg (10
-12
g) 碳/秒,线性动态范围:>10
7
。
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