电子级氨气NH3气体分析仪

产品特性 :

热门应用领域:
特气、气体工厂、光电、LED、半导体


  壹. 氨气 (NH3) 气体分析仪功能规格  

 

  • 可分析的气体种类:氨气(NH3)。
  • 待测物成分及最低可侦测浓度(MDL):H2、N2、O2+Ar、CO2、CO≦10ppb;THC≦ 50ppb。
  • 待测物五重复分析的相对标准偏差(RSD):Peak Height<3%、Peak Area<3%。

 

  贰. 氨气 (NH3) 气体分析仪硬体规格  

 

   A. 层析系统

 

  • 电子流量控制(EPC):精确度达0.001psi,为载送气体、侦测器流量、辅助气体、逆吹气体及核心  切除气压平衡气(heart cut)等的标准规格,可控制16个通道的流量或压力。
  • 分析成分滞留时间误差:<0.008分钟。
  • 烘箱温度操作范围及精度:室温+4℃~450℃,0.01℃控制精度。
  • 可配置2个侦测器。

 

   B. 侦测器及控制系统

 

     1. 脉冲式放电侦测器(PDHID):

  • 泛用型非破坏性氦气脉冲放电离子化侦测模式。
  • 氦气光子能量:13.5~17.7eV可调。
  • 线性范围:大于105