热门应用领域:
钢铁、空气分离工厂、高纯度气体、高纯度氧气、O2
高纯度氧气O2气体分析仪
产品特性 :
氧气O2微量成份气体分析仪
氧气供应在炼钢制程、半导体制程及液晶显示器制程中扮演着重要角色,氧气纯度主导着各制程产品之良率高低及工业安全的风险。 90年代国外相继发生空气分离设备爆炸伤亡事故,空气分离设备的安全更引起了高度重视。氧气工场液氧制程目前之线上危爆气体成份侦测仰赖GC-FID、NDIR等功能有限之旧型设备,分析能力不足,故开发此危爆成份侦测仪器,线上分析氧气工场液氧制程危爆气体成份CO2、N2O、CH4、C2~C4,不纯物成份Ar、Kr、N2,微量分析技术可达50ppb以下,提高并扩充分析仪应用性,以达成下列预期之目标。
▶ 一次测定所有成分的新型分析侦测技术取代传统三种分析侦测技术。
▶ 精确侦测微量微爆成份,提高氧气场工业安全。
壹. 氧气 (O2) 气体分析仪功能规格
- 可分析的气体种类:氧气。
- 待测物成分及最低可侦测浓度(MDL): Ar、N2 、Kr、CH4、CO2、N2O、C2~C4等 ;MDL为30~100ppb。
- 待测物标准成份(5ppm)五重复分析的相对标准偏差(RSD):<3~6%。
贰. 氧气 (O2)气体分析仪硬体规格
A. 层析系统
- 电子流量控制(EPC):精确度达0.001psi,为载送气体、侦测器流量、辅助气体、逆吹气体及核心切除气压平衡气(heart cut)等的标准规格,可控制16个通道的流量或压力。
- 分析成分滞留时间误差:<0.0008分钟。
- 烘箱温度操作范围及精度:室温+4℃~450℃,0.01℃控制精度。
- 可配置3个侦测器。
B. 偵測器及控制系統侦测器及控制系统
1. 脉冲式放电侦测器(PDHID):
- 泛用型非破坏性氦气光离子化侦测模式。
- 氦气光子能量:13.5~17.7eV。
- 最小检测量:low ppb,可分析非腐蚀性或腐蚀性气体。
- 线性范围:大于105。
2. 火焰离子化侦测器(FID):
- 电子流量控制(EPC):可控制氢气、空气、补充气体等的流量。
- 最小检测量:小于或等于1.8pg (10-12g) 碳/秒,线性动态范围:≧107。
- 总碳氢化合物(THC):最小检测量<0.01ppm。
3. 热导电度侦测器(TCD):
- 电子流量控制(EPC):可控制参考气体、补充气体等的流量。
- 最小检测量:优于400x10-12g 碳氢化合物/毫升,线性动态范围105。