氧气厂微量危爆成分线上气体分析仪开发完成

氧气供应在炼钢制程、半导体制程及液晶显示器制程中扮演着重要角色，氧气纯度主导着各制程产品之良率高低及工业安全的风险。 90年代国外相继发生空气分离设备爆炸伤亡事故，空气分离设备的安全更引起了高度重视。

氧气工场液氧制程目前之线上危爆气体成份侦测仰赖GC-FID、NDIR等功能有限之旧型设备，分析能力不足，故开发危爆成份侦测仪器，线上分析氧气工场液氧制程危爆气体成份CO2、N2O、CH4、C2~C4，不纯物成份Ar、Kr、N2，微量分析技术可达50ppb以下，提高并扩充分析仪应用性，以达成下列预期之目标。